Производство CVD поликристаллических алмазных пластин и дисков
Специалисты ООО «HUANGHE» занимаются выращиванием CVD поликристаллических алмазных пластин с 1980 года. Поликристаллический CVD алмаз получается в результате низкотемпературного газофазного синтеза из водорода и метана. Алмазные пленки выращиваются на полированных монокристаллических кремниевых подложках.
ООО «HUANGHE» имеет много ростовых установок с мощностью СВЧ-генераторов от 6 до 15 кВт. Скорость роста алмазных пленок составляет 2–5 мкм/час. Оборудование позволяет выращивать поликристаллические алмазные пленки толщиной от 20 мкм до 2 мм и диаметром до 127 мм. Внешний вид CVD алмазных пластин показан на рис. 2.1, 2.2.
Рис. 2.1. Кремниевые диски с поликристаллической алмазной пленкой диаметром 57, 75 и 100 мм.
Рис. 2.2. Внешний вид поликристаллических алмазных дисков и пластин
Алмазные теплоотводы выпускаются в соответствии с ТУ 6365-001-18107879-2013.
ООО «HUANGHE» обладает запатентованной технологией, позволяющей обойтись без лазерной резки при изготовлении алмазных теплоотводов требуемого размера.
Оставьте заявку
Пожалуйста, оставьте нам свои требования, мы свяжемся с вами в ближайшее время.